




净化工程技术对精密机械和精细化工的意义:
随着科学技术的发展,许多工业产品的生产加工对生产环境中的粉尘浓度提出了---的要求,要求生产环境具有一定水平的洁净空气,控制生产过程中所需的各种相关物质的供应。比如在胶片制作中,如果胶片被灰尘污染,感光乳剂就会被氧化,活性减弱,ph值发生变化,从而影响胶片的感光性能。
另外,当湿度过高时,粘在硅芯片表面的灰尘会被化学吸附在表面,难以清理。相对湿度越高,去除附着越困难。而当相对湿度低于30%时,由于静电力的作用,颗粒容易吸附在表面,大量半导体器件容易击穿。
净化工程压力调节
对于大多数洁净空间来说,要保持内压(静压)高于外压(静压),以防止外部污染的侵入。压差一般应按照以下原则维持:
对于紊流洁净室,由于主要依靠空气的稀释作用来降低室内污染程度,所以主要采用换气次数的概念,而不是直接采用速度的概念,但对室内空气流动的速度也有以下要求;
1.送风口出口处的气流速度不宜过大。与简单空调房相比,速度衰减更快,扩散角。
2.吹过水平面的气流速度(如车损时的回流速度)不宜过大,送风口作用,以免将表面颗粒吹回气流中,送风口型号,造成二次污染,送风口,此速度不宜干燥0.2m/s。
对于平流洁净室俗称层流洁净室,空调送风口,因为它主要靠“活塞挤压作用的气流来排除污染”,所以截面上的速度是一个非常重要的指标。以往全部参考美国20gb标准,采用0.45m/s。但人们也明白,这样大的风速所需要的通风非常大,为了节约能源,也都在探索降低风速的可行性。
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