另外，---送风口尺寸，当湿度过高时，粘在硅芯片表面的灰尘会被化学吸附在表面，难以清理。相对湿度越高，去除附着越困难。而当相对湿度低于30％时，由于静电力的作用，---送风口标准尺寸，颗粒容易吸附在表面，液槽式---送风口，大量半导体器件容易击穿。
净化工程压力调节
对于大多数洁净空间来说，要保持内压（静压）高于外压（静压），以防止外部污染的侵入。压差一般应按照以下原则维持:
净化工程单向流动洁净室一般有两种类型，即水平流动和垂直流动。在水平流动系统中，空气从一面墙流向另一面墙。在垂直气流系统中，空气从---流向地面。当洁净室内悬浮颗粒或微生物浓度较低时，采用单向气流。这种洁净室以前被称为“层流”洁净室。单向流和层流的名称描述的是空气在一个方向（垂直或水平）以0.3到0.5米/秒（60到100英尺/分钟）的平均速度通过空间的流动。
净化工程-乱流洁净室原理 净化工程乱流洁净室的主要特点是一次流到出口（从送风口到回风口）的气流流动截面发生变化。洁净室的横截面要比送风口大得多，因此在整个房间横截面或整个房间工作截面都不能形成均匀的气流。因此，送风口后的流线有较大或较大的角度，盐城---送风口，曲率半径较小。室内的气流不能单向流动，而是会相互碰撞，产生回流和涡流。这就决定了湍流洁净室的流动状态本质上是:突然流动;非均匀流。
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