




1.洁净空间压力高于不洁净空间压力。
2.洁净度高的空间压力高于相邻的洁净度低的空间压力。
保持压力差的方法是用新风量来补偿在压力差下通过间隙排出的空气量。因此,压差的物理意义是对通过洁净室各种间隙的泄漏(或渗透)风量的阻力。
净化工程洁净室的气流速度
这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度,其他洁净空间的气流速度将在具体设备的讨论中进行说明。

另外,当湿度过高时,粘在硅芯片表面的灰尘会被化学吸附在表面,结净层流罩原理,难以清理。相对湿度越高,去除附着越困难。而当相对湿度低于30%时,由于静电力的作用,结净层流罩公司,颗粒容易吸附在表面,大量半导体器件容易击穿。
净化工程压力调节
对于大多数洁净空间来说,要保持内压(静压)高于外压(静压),以防止外部污染的侵入。压差一般应按照以下原则维持:

这是对乱流洁净室的比紊流、更地描述。湍流度主要由雷诺数决定,即流的量决定。然而,如果使用的过滤器作为自上而下的空气供应,丹东结净层流罩,所有这些结果的可以产生即使在非常低的流量,因为它是一个突然和不均匀的流动。因此,结净层流罩报价,在这种情况下,不仅存在紊流引起的流层之间的混合,整个腔室内还存在较大的回流和涡流混合。
净化工程-单向流动洁净室原理

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