




空气从洁净室---上的空气过滤器输送到房间。就像空气活塞一样,气流向---过房间,把污染物带出地面。与外部的一些新鲜空气混合后,再循环到空气过滤器。由人员和工艺产生的悬浮污染可以被这种空气立即清除,而湍流通风系统使用混合和稀释原理。在没有任何障碍物的空房间里,风速低得多的单向气流可以迅速清除污染物。但在手术室里,机器和在机器周围走动的人会对气流造成障碍。

净化工程技术对半导体和集成电路生产的意义:
半导体材料的提纯是半导体器件发展的重要基础。由于---和---规模集成电路的工艺要求,---送风口安装,为了获得高纯度的硅材料,原料和中间介质的高纯度以及生产环境的洁净度成为影响产品的---问题。ic芯片的良率与芯片的缺陷密度有关,芯片的缺陷密度与空气中的颗粒数有关。因此,液槽---送风口,随着集成电路的快速发展,不仅要控制空气中粒子的大小,还要进一步控制粒子的数量。

对于紊流洁净室,由于主要依靠空气的稀释作用来降低室内污染程度,所以主要采用换气次数的概念,而不是直接采用速度的概念,但对室内空气流动的速度也有以下要求;
1.送风口出口处的气流速度不宜过大。与简单空调房相比,速度衰减更快,---送风口,扩散角。
2.吹过水平面的气流速度(如车损时的回流速度)不宜过大,以免将表面颗粒吹回气流中,造成二次污染,此速度不宜干燥0.2m/s。
对于平流洁净室俗称层流洁净室,因为它主要靠“活塞挤压作用的气流来排除污染”,所以截面上的速度是一个非常重要的指标。以往全部参考美国20gb标准,采用0.45m/s。但人们也明白,这样大的风速所需要的通风非常大,为了节约能源,也都在探索降低风速的可行性。

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