




净化工程技术对半导体和集成电路生产的意义:
半导体材料的提纯是半导体器件发展的重要基础。由于---和---规模集成电路的工艺要求,为了获得高纯度的硅材料,原料和中间介质的高纯度以及生产环境的洁净度成为影响产品的---问题。ic芯片的良率与芯片的缺陷密度有关,芯片的缺陷密度与空气中的颗粒数有关。因此,随着集成电路的快速发展,不仅要控制空气中粒子的大小,还要进一步控制粒子的数量。

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障碍物会使单向流变成湍流,从而在障碍物周围形成气团。 人类的运动也会使单向流动产生湍流。在这些湍流中,结净层流罩报价,由于风速较低,空气的稀释程度较低,导致污染浓度较高。因此,净化工程风速必须保持在0.3m/s~0.5m/s(60ft/min~100ft/min)的范围内,以便中断的单向流能够迅速恢复,并充分稀释障碍物周围湍流区的污染。单向流可以用风---正确表示,因为风速越高,房间越干净。而每小时换空气的次数与房间的容积有关,比如吊顶的高度,所以不适合单向流动。单向室的空气体积是紊流室的许多倍(10到100倍)。

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