1.洁净空间压力高于不洁净空间压力。
2.洁净度高的空间压力高于相邻的洁净度低的空间压力。
保持压力差的方法是用新风量来补偿在压力差下通过间隙排出的空气量。因此，压差的物理意义是对通过洁净室各种间隙的泄漏（或渗透）风量的阻力。
净化工程洁净室的气流速度
这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度，宁德---送风口，其他洁净空间的气流速度将在具体设备的讨论中进行说明。
对于紊流洁净室，由于主要依靠空气的稀释作用来降低室内污染程度，所以主要采用换气次数的概念，而不是直接采用速度的概念，但对室内空气流动的速度也有以下要求;
1.送风口出口处的气流速度不宜过大。与简单空调房相比，---送风口图片，速度衰减更快，不锈钢---送风口，扩散角。
2.吹过水平面的气流速度（如车损时的回流速度）不宜过大，以免将表面颗粒吹回气流中，造成二次污染，此速度不宜干燥0.2m/s。
对于平流洁净室俗称层流洁净室，因为它主要靠“活塞挤压作用的气流来排除污染”，所以截面上的速度是一个非常重要的指标。以往全部参考美国20gb标准，采用0.45m/s。但人们也明白，这样大的风速所需要的通风非常大，为了节约能源，也都在探索降低风速的可行性。
另外，当湿度过高时，粘在硅芯片表面的灰尘会被化学吸附在表面，难以清理。相对湿度越高，---送风口型号，去除附着越困难。而当相对湿度低于30％时，由于静电力的作用，颗粒容易吸附在表面，大量半导体器件容易击穿。
净化工程压力调节
对于大多数洁净空间来说，要保持内压（静压）高于外压（静压），以防止外部污染的侵入。压差一般应按照以下原则维持:
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