




净化工程洁净室温湿度控制净化工程洁净空间的温度和湿度主要是根据工艺要求来确定的,但在满足工艺要求的条件下,也要考虑到舒适度。随着空气洁净度要求的提高,对温度和湿度的要求也有越来越严格的趋势。具体工艺对温度的要求后面会列出,但作为一般原理,由于加工精度越来越精细,定制工作台,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如,在---集成电路生产的光刻---工艺中,玻璃与作为掩模材料的硅片之间的热膨胀系数差要求越来越小。

障碍物会使单向流变成湍流,从而在障碍物周围形成气团。 人类的运动也会使单向流动产生湍流。在这些湍流中,工作台设计,由于风速较低,空气的稀释程度较低,黑龙江工作台,导致污染浓度较高。因此,净化工程风速必须保持在0.3m/s~0.5m/s(60ft/min~100ft/min)的范围内,洁净工作台,以便中断的单向流能够迅速恢复,并充分稀释障碍物周围湍流区的污染。单向流可以用风---正确表示,因为风速越高,房间越干净。而每小时换空气的次数与房间的容积有关,比如吊顶的高度,所以不适合单向流动。单向室的空气体积是紊流室的许多倍(10到100倍)。

净化工程-乱流洁净室原理 净化工程乱流洁净室的主要特点是一次流到出口(从送风口到回风口)的气流流动截面发生变化。洁净室的横截面要比送风口大得多,因此在整个房间横截面或整个房间工作截面都不能形成均匀的气流。因此,送风口后的流线有较大或较大的角度,曲率半径较小。室内的气流不能单向流动,而是会相互碰撞,产生回流和涡流。这就决定了湍流洁净室的流动状态本质上是:突然流动;非均匀流。

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