




空气从洁净室---上的空气过滤器输送到房间。就像空气活塞一样,气流向---过房间,把污染物带出地面。与外部的一些新鲜空气混合后,再循环到空气过滤器。由人员和工艺产生的悬浮污染可以被这种空气立即清除,而湍流通风系统使用混合和稀释原理。在没有任何障碍物的空房间里,风速低得多的单向气流可以迅速清除污染物。但在手术室里,普通工作台图片,机器和在机器周围走动的人会对气流造成障碍。

净化工程洁净室温湿度控制净化工程洁净空间的温度和湿度主要是根据工艺要求来确定的,但在满足工艺要求的条件下,也要考虑到舒适度。随着空气洁净度要求的提高,对温度和湿度的要求也有越来越严格的趋势。具体工艺对温度的要求后面会列出,但作为一般原理,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如,在---集成电路生产的光刻---工艺中,玻璃与作为掩模材料的硅片之间的热膨胀系数差要求越来越小。

净化工程的优点就是构件成本比较低,普通工作台价格,而且洁净室想要扩展也很容易。在一些特殊用途的场合,可以使用这个无尘工作台来提高整体的等级。当这个微尘粒子漂浮在室内空间的时候是不容易排出的,容易造成一个污染过程,普通工作台,但是这是早一点都能够被---,定做普通工作台,而且大部分都是优点,这一点就没有什么了。
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