净化工程单向流动洁净室一般有两种类型，即水平流动和垂直流动。在水平流动系统中，空气从一面墙流向另一面墙。在垂直气流系统中，空气从---流向地面。当洁净室内悬浮颗粒或微生物浓度较低时，采用单向气流。这种洁净室以前被称为“层流”洁净室。单向流和层流的名称描述的是空气在一个方向（垂直或水平）以0.3到0.5米/秒（60到100英尺/分钟）的平均速度通过空间的流动。
空气从洁净室---上的空气过滤器输送到房间。就像空气活塞一样，气流向---过房间，液槽式---送风口，把污染物带出地面。与外部的一些新鲜空气混合后，再循环到空气过滤器。由人员和工艺产生的悬浮污染可以被这种空气立即清除，而湍流通风系统使用混合和稀释原理。在没有任何障碍物的空房间里，风速低得多的单向气流可以迅速清除污染物。但在手术室里，机器和在机器周围走动的人会对气流造成障碍。
硅片直径为100um，温升1度，上升0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，湿度也要求值一般较低，---送风口，因为人在出汗，产品会有污染，---怕大半导体车间，车间温度不应超过25度，---送风口厂家，湿度高的问题较多。当相对湿度超过55％时，冷却水管壁会结露，如果在精密设备或电路中发生，会引起各种事故。当相对湿度为50％时，容易生锈。
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