硅片直径为100um，温升1度，上升0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，湿度也要求值一般较低，超净工作台，因为人在出汗，工作台厂家，产品会有污染，---怕大半导体车间，鹤岗工作台，车间温度不应超过25度，湿度高的问题较多。当相对湿度超过55％时，冷却水管壁会结露，如果在精密设备或电路中发生，不锈钢工作台，会引起各种事故。当相对湿度为50％时，容易生锈。
这是对乱流洁净室的比紊流、更地描述。湍流度主要由雷诺数决定，即流的量决定。然而，如果使用的过滤器作为自上而下的空气供应，所有这些结果的可以产生即使在非常低的流量，因为它是一个突然和不均匀的流动。因此，在这种情况下，不仅存在紊流引起的流层之间的混合，整个腔室内还存在较大的回流和涡流混合。
净化工程-单向流动洁净室原理
净化工程单向流动洁净室一般有两种类型，即水平流动和垂直流动。在水平流动系统中，空气从一面墙流向另一面墙。在垂直气流系统中，空气从---流向地面。当洁净室内悬浮颗粒或微生物浓度较低时，采用单向气流。这种洁净室以前被称为“层流”洁净室。单向流和层流的名称描述的是空气在一个方向（垂直或水平）以0.3到0.5米/秒（60到100英尺/分钟）的平均速度通过空间的流动。
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